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廣州潽拓光電科技有限公司
主營：分子泵控制器,真空分子泵,AE電源,真空油泵,真空系統(tǒng)
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廣州潽拓光電科技有限公司——安捷倫
VARIAN TV301 NAV 具有渦輪分子泵的集成系統(tǒng)，安捷倫Turbo-V1001r，具有相關(guān)的控制器，適用于高真空和超高真空應(yīng)用。
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電壓的不穩(wěn)定，特別對磁浮類的分子泵損傷較大。前級泵的效率差;我們知道腔體內(nèi)的大部分氣體首先是通過前級泵抽出，真空達(dá)到一定程度分子泵才會啟動。如果前級泵的效率差，分子泵就會比較吃力，安捷倫Turbo-V6000，啟動速度慢，抽氣時(shí)間長，韶關(guān)安捷倫，電流高，分子泵溫度升高等。
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美國Agilent TwisTorr 304 FS高真空渦輪分子泵
高真空渦輪分子泵內(nèi)有一個(gè)高速旋轉(zhuǎn)（每分鐘幾萬轉(zhuǎn)）的轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子上有渦輪和拖動級進(jìn)行抽氣。隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步，市場不僅對泵性能的要求越來越高，更對其小型化、高可靠性、維護(hù)方便性及靈活易用性等都提出了更高的要求通常的分子泵拖動級采用圓柱螺旋形的溝槽，而安捷倫 TwisTorr 技術(shù)把拖動級放在了薄薄的圓盤上，這樣就可以在有限的空間內(nèi)集成多對拖動級轉(zhuǎn)子盤和定子盤，節(jié)省空間的同時(shí)又能提率和性能。
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Agilent SH-110全密封干式渦旋泵具有業(yè)內(nèi)的真空獲得性能，結(jié)構(gòu)緊湊，安捷倫Turbo-V1K-G，能夠輕易地實(shí)現(xiàn)與現(xiàn)有、生產(chǎn)設(shè)備的真空系統(tǒng)相集成。此型號單級渦旋泵具有110升1分鐘的抽速(60Hz電源條件下)，可獲得50mTorr(約67Pa)的極限真空，即使單獨(dú)作為粗真空獲得設(shè)備也是理想的選擇。SH-110渦旋泵符合CE、CSA以及Semi S2-0200等多種標(biāo)準(zhǔn)。
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第7年
