廣州潽拓光電科技有限公司——inficon英??嫡婵沼?jì)保養(yǎng)配件皮拉尼真空計(jì)維修
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電容薄膜規(guī):它的原理是利用真空壓力,壓力使膜片變形,變形量與壓力大小成比例關(guān)系,通過測(cè)量不同壓力下的陶瓷膜片的變形量來測(cè)量真空度。這種真空計(jì)能在嚴(yán)酷和腐蝕性環(huán)境中,提供穩(wěn)定*靠的高精度壓強(qiáng)測(cè)量,它具有快速的預(yù)熱和恢復(fù)時(shí)間,*越的長(zhǎng)期穩(wěn)定性、再現(xiàn)性和重復(fù)性,對(duì)環(huán)境條件變化的敏感度降低。
電容薄膜規(guī)一般用在要求比較高的、*確而快速的測(cè)量,如刻蝕、半導(dǎo)體等。
長(zhǎng)時(shí)間使用引起真空泵的旋片磨損或轉(zhuǎn)子內(nèi)的彈簧張力不足,導(dǎo)致吸氣室和排氣室隔離不嚴(yán),從而引起真空泵的抽真空性能下降,這時(shí)應(yīng)當(dāng)更換旋片和彈簧,并清洗轉(zhuǎn)子和泵腔;檢查排氣閥門,觀看其動(dòng)作是否失靈,導(dǎo)致排氣不暢,必要時(shí)應(yīng)更換排氣閥門。皮拉尼真空計(jì)維修
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jue對(duì)壓力計(jì)的讀數(shù),是對(duì)被測(cè)壓力的氣體在單位面積上作用力的度量。根據(jù)氣體分子動(dòng)力理論,這種作用力只決定于單位體積內(nèi)的分子數(shù)和它們的溫度,與氣體分子的質(zhì)量無關(guān),即jue對(duì)壓力計(jì)的讀數(shù)與氣體種類無關(guān)。
薄膜電容真空計(jì)是一種全壓力真空計(jì),其讀數(shù)與氣體種類無關(guān)。可讀測(cè)混有蒸氣的混合氣體,且具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的特點(diǎn)。雖然它在電子學(xué)方面是復(fù)雜的,但其機(jī)械上的簡(jiǎn)單結(jié)構(gòu)和對(duì)任何環(huán)境的適應(yīng)性,英??嫡婵沼?jì)維修中心,使它成為非常有用的真空計(jì)之一。薄膜電容真空計(jì)的zui小位移可以小至 1nm,因此由溫度變化引起部件的形變,就成為一個(gè)十分重要的問題。為了能使真空計(jì)穩(wěn)定地工作,要求膜片的熱膨脹系數(shù)與電極組件的熱膨脹系數(shù)能很好的匹配。英??嫡婵沼?jì)維修中心
薄膜電容規(guī)這種規(guī)的優(yōu)點(diǎn)是靈敏度很高。缺點(diǎn)是必須在高于環(huán)境溫度的恒溫條件下使用,以消除溫度不同對(duì)膜片力學(xué)性能的影響,使用前一般需要預(yù)熱數(shù)小時(shí)。英??嫡婵沼?jì)維修中心
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廣州潽拓光電科技有限公司——inficon英福康真空計(jì)保養(yǎng)配件真空分子泵維護(hù)
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檢查真空表是不是出現(xiàn)了問題,分子泵出口是否打開,機(jī)械泵油是否太臟,機(jī)械泵是否旋轉(zhuǎn),系統(tǒng)是否漏氣。分子泵的葉片或轉(zhuǎn)子也可能損壞。您可以使用自己的工具移動(dòng)刀片來判斷它是否可以旋轉(zhuǎn)。(2)分子泵加速指示燈不亮。電路板上的保險(xiǎn)絲被燒毀了。更換保險(xiǎn)絲或檢查是否有短路。真空分子泵維護(hù)
分子泵故障燈亮。檢查電路板設(shè)置開關(guān)是否在R位置,此時(shí)應(yīng)在N位置。檢查風(fēng)扇是否停止。如果風(fēng)扇正常,可能是分子泵電源故障。請(qǐng)聯(lián)系制造商.
真空技術(shù)應(yīng)用中首先會(huì)利用真空與大氣壓力差形成的壓差力。像真空吸盤、真空輸送、真空浸漬、真空成型等都是這類原理的運(yùn)用,inficon英福康真空計(jì)保養(yǎng)配件,而且過程中這個(gè)壓差力的分布是均勻的。壓力差的大小與真空容器內(nèi)外的壓差值有關(guān),我們所處的環(huán)境大氣壓約為101325Pa,因此實(shí)際運(yùn)用中,壓力差是不會(huì)超過當(dāng)時(shí)的大氣壓的。真空分子泵維護(hù)
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