工廠強(qiáng)電安裝-郴州工廠強(qiáng)電-晴朗凈化車間工程

潔凈室中的溫濕度控制：

潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來(lái)確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越嚴(yán)的趨勢(shì)。

具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來(lái)越精細(xì)，所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，工廠強(qiáng)電安裝，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院?，工廠強(qiáng)電設(shè)計(jì)，對(duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過(guò)25度。

濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外，濕度太高時(shí)將通過(guò)空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對(duì)濕度越高，粘附的難去掉，但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)蕞佳溫度范圍為35—45%。

無(wú)塵凈化車間潔凈棚的優(yōu)勢(shì)，施工速度快，安裝方便，操作簡(jiǎn)便靈活，可移動(dòng)。成本較低，維護(hù)方便，對(duì)樓層高度低不限。容易控制，工廠強(qiáng)電安裝，F(xiàn)FU每臺(tái)自帶風(fēng)機(jī)。潔凈棚的框架一般有三種：不鏽鋼方通，鐵方通，鋁型材。潔凈棚頂部材料一般有三種，不鏽鋼板，冷軋鋼板噴塑，防靜電網(wǎng)格圍簾，有機(jī)玻璃。潔凈送風(fēng)部分，一般選擇FFU層流罩（FFU風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元）潔凈棚的圍護(hù)材料一般包括：防靜電圍簾，（防靜電）有機(jī)玻璃。無(wú)塵凈化車間清潔潔凈室的地面應(yīng)使用拖把。在潔凈室里吸塵應(yīng)使用帶有高效過(guò)濾器的真空吸塵器。所有的門都需要檢查并擦干，吸完地以后再擦地。一周擦一次墻面，架空地板下也要吸塵及擦拭。三個(gè)月擦一次架空地板底下的柱子和支撐柱。工作時(shí)一定要記住，永遠(yuǎn)是由上往下擦，從離門遠(yuǎn)的地方向門的方向擦。

無(wú)塵車間一般至少要采用初、中、高三級(jí)過(guò)濾器過(guò)濾，而這三級(jí)過(guò)濾器的阻力加起來(lái)就有700～800帕左右，無(wú)塵車間一般也要采用集中送、回風(fēng)的方式，郴州工廠強(qiáng)電，以保證維持無(wú)塵車間的正負(fù)壓調(diào)節(jié)的要求，所以無(wú)塵車間的管道阻力一般比普通空調(diào)的要多一倍以上。需要克服這些阻力，就要求空氣處理機(jī)組的送風(fēng)機(jī)有足夠的壓頭，GMP無(wú)塵車間，所以無(wú)塵車間的空氣處理機(jī)組的送風(fēng)機(jī)組一般采用后彎?rùn)C(jī)翼型的風(fēng)機(jī)，精密電子無(wú)塵車間，或者是無(wú)窩殼的風(fēng)機(jī)，才能達(dá)到足夠高送回風(fēng)壓頭。

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