







是電子束微影中常用的正阻劑,是由單體酸甲酯(methyl methacrylate, MMA)經(jīng)聚合反應(yīng)而成。用在電子阻劑的PMMA 通常分子量在數(shù)萬至數(shù)十萬之間,受電子束照射的區(qū)域PMMA 分子量將變成數(shù)百至數(shù)千,在顯影時低分子量與高分子量PMMA 溶解度的對比非常大。
負(fù)阻劑方面,多半由聚合物的單體構(gòu)成。在電子束曝照的過程中會產(chǎn)生聚合反應(yīng)形成長鏈或交叉鏈結(jié)(crosslinking)聚合物,所產(chǎn)生的聚合物較不易被顯影液溶解因而在顯影后會留在基板表面形成微影圖案。目前常用的負(fù)阻劑為化學(xué)倍增式阻劑(chemically amplified resist),經(jīng)電子束曝照后產(chǎn)生氫離子催化鏈結(jié)反應(yīng),具有高解析度、高感度,且抗蝕刻性高。

BCM:車身控制器,英語:body control module,簡稱BCM。
CBCU(Central Body control uint 中央車身控制器),我的認(rèn)知是跟BCM同一零件的不同叫法。
ECU(Electronic Control Unit,電子控制單元,又稱“行車電腦”), 我的認(rèn)知是發(fā)動機(jī)控制器。
作者:質(zhì)海無涯
鏈接:https:///question/380802254/answer/2507110325
來源:知乎
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