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聚光鏡處在電子的下方,一般由2~3級組成,從上至下依次稱為、第2聚光鏡(以C1 和C2表示)。關于電磁透鏡的結構和工作原理已經(jīng)在上一節(jié)中介紹,電鏡中設置聚光鏡的用途是將電子發(fā)射出來的電子束流會聚成亮度均勻且照射范圍可調的光斑,投射在下面的樣品上。C1和C2的結構相似,葉綠體電鏡測試服務,但極靴形狀和工作電流不同,所以形成的磁場強度和用也不相同。C1為強磁場透鏡,C2為弱磁場透鏡,各級聚光鏡組合在一起使用,可以調節(jié)照明束斑的直徑大小,從而改變了照明亮度的強弱,在電鏡操縱面板上一般都設有對應的調節(jié)旋扭。

掃描電子顯微鏡電子發(fā)射出的電子束經(jīng)過聚焦后匯聚成點光源;點光源在加速電壓下形成高能電子束;高能電子束經(jīng)由兩個電磁透鏡被聚焦成直徑微小的光點,在透過后一級帶有掃描線圈的電磁透鏡后,電子束以光柵狀掃描的方式逐點轟擊到樣品表面,同時激發(fā)出不同深度的電子信號。此時,電子信號會被樣品上方不同信號的探頭接收,通過放大器同步傳送到電腦顯示屏,形成實時成像記錄(圖a)。由入射電子轟擊樣品表面激發(fā)出來的電子信號有:俄歇電子(Au E)、二次電子(SE)、背散射電子(BSE)、X射線(特征X射線、連續(xù)X射線)、陰極熒光(CL)、吸收電子(AE)和透射電子(圖b)。每種電子信號的用途因作用深度而異。

電子能量損失光譜儀通常在光譜模式和圖像模式上操作,這樣就可以隔離或者排除特定的散射電子束。由于在許多圖像中,非彈性散射電子束包含了許多操作者不關心的信息,從而降低了有用信息的可觀測性。這樣,電子能量損失光譜學技術可以通過排除不需要的電子束有效提高亮場觀測圖像與暗場觀測圖像的對比度。

晶體結構可以通過高分辨率透射電子顯微鏡來研究,這種技術也被稱為相襯顯微技術。當使用場發(fā)射電子源的時候,觀測圖像通過由電子與樣品相互作用導致的電子波相位的差別重構得出。然而由于圖像還依賴于射在屏幕上的電子的數(shù)量,對相襯圖像的識別更加復雜。然而,這種成像方法的優(yōu)勢在于可以提供有關樣品的更多信息。

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